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第291章 强大的真空所（第2页）

一根橡胶管从泵体伸出，通入旁边一个大铁桶，那是自制的冷却水循环系统，铁桶边缘还有漏水的痕迹。

没有数字显示屏，没有计算机控制台。

只有老式的仪器，一个热偶真空计，靠水银柱的高度显示真空度；几块指针式的电流表和电压表；一台自制的温度控制器，上面是粗糙的旋钮和刻度。

墙上贴满了手工绘制的图表，温度-时间曲线、气压-流量关系图、薄膜厚度与沉积率对照表……都是用铅笔和三角尺绘制，线条工整，数据密密麻麻。

最引人注目的，是站在装置前的一位老师傅。

他约莫五十岁，身材瘦削，穿着深蓝色的工装，袖口挽起，露出布满烫伤和酸蚀痕迹的手臂。

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他戴着一副用胶布粘着镜腿的老花镜，正俯身观察真空计的水银柱，手指轻轻调节着一个针阀。

他的动作极其缓慢、极其轻柔，仿佛不是在操作机器，而是在雕琢一件易碎的艺术品。

“刘师傅正在做一批氮化硅样品。”顾赟低声介绍，“今天运气好，正好赶上完整的工艺过程。”

几人安静地站在一旁观察。

刘师傅先检查了基片，那是几片一寸见方的玻璃片，已经经过严格的清洗，在灯光下晶莹剔透。

他用特制的镊子将基片放入钟罩内的样品架上，动作很稳。

然后按下启动按钮，真空泵的轰鸣声陡然增大。

刘师傅盯着热偶真空计，水银柱开始缓慢下降。

这个过程持续了将近二十分钟，期间刘师傅不时用改锥轻轻敲击管道的某些部位，侧耳倾听，像是在诊断病人的心跳。

“他在查漏。”文昭南教授低声解释，“微漏是真空系统的大敌。我们没能力买进口的氦质谱检漏仪，就用土办法，有时候用酒精涂抹可疑部位，看真空度变化；有时候充入氢气，用自制探测器找漏点。”

终于，真空度达到了要求，大约o??托。

接下来是预热。

刘师傅接通加热电源，缠绕在石墨坩埚上的电阻丝开始泛红，温度逐渐升高。

测温靠的是插入坩埚侧壁的一根老旧热电偶，连接的毫伏表指针缓缓偏转。

“温度控制是个大难题。”顾赟苦笑道，“加热丝是我们自己绕的，温场不均匀；热电偶的精度有限；控温电路就是简单的调压器。能控制在±o°c以内，就算成功了。”

吕辰看着墙上的温度曲线图，那上面用不同颜色的铅笔标注着多次实验的数据，曲线起伏如心电图。

每一次成功的沉积，背后都是数十次失败的摸索。

温度稳定后，真正的“魔法”开始了。

刘师傅缓慢地打开两个钢瓶阀门，一个是氨气，一个是氯硅烷，也就是sih?与c?的混合物。

气体通过手工打磨的针阀，进入管道。

没有质量流量控制器，没有比例阀。

流量控制，靠的是观察玻璃转子流量计里那个小浮子的位置。

浮子在玻璃管中上下浮动，刘师傅要根据浮子的高度，“估算”出气体的流量比例。

“氨气……大概每分钟o毫升。”他低声自语，手指微调阀门，“氯硅烷……o毫升。比例:。”

他的眼睛紧紧盯着两个流量计，整个实验室鸦雀无声，只有真空泵的低鸣和电流流过加热丝的轻微嗡嗡声。

气体进入钟罩，在高温的基片表面生化学反应。

微观世界里，氨气与氯硅烷分子分解、重组，氮原子与硅原子结合，生成氮化硅，一层原子一层原子地“生长”在玻璃表面。

这个过程肉眼看不见，但刘师傅仿佛能“感觉”到。

他不时调节冷却水的流，那根滴水的橡胶管连着铁桶里的水泵，水流快慢会影响钟罩内的温度分布。

他还不时用改锥轻敲某段管道，这是靠听声音来判断气流是否顺畅。

他嘴里念念有词，像是在进行某种仪式：“这回的‘火候’差不多了……左边温度好像高了点……”

整整四十分钟，沉积过程在一种高度紧张而又充满艺术感的氛围中进行。

终于，他关闭了气体阀门，停止加热，让系统自然冷却。