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第345章 宝鸡有色金属厂（第3页）

板面极其平整，几乎看不到任何起伏，他用指甲轻轻划过边缘，感受表面的光滑度。

“能看看你们的工艺吗？”他问。

“当然。”周工站起身，“走，去镀膜车间。”

一行人下楼，穿过厂区，来到镀膜车间，车间里很干净，水泥地面拖得亮，空气中有一股淡淡的臭氧味。

正中央是一个银白色的圆柱形设备，大约两米高，直径一米五，表面布满了各种接口、观察窗和仪表。

“这就是我们自行设计的真空镀膜机。”周工拍拍金属外壳，“核心部件是这台电子枪，从民主德国进口的，能产生高能电子束，轰击金靶材，使其蒸，沉积在基片表面。”

他指着设备侧面一个透明的观察窗：“基片放在这个行星旋转夹具上，公转加自转，保证镀层均匀。整个腔体能抽到o-帕的真空度，避免空气分子干扰镀膜过程。”

胡教授补充道：“最难的不是把金镀上去，而是镀得均匀。卫星天线是抛物面，不同位置的曲率不同，离蒸源的距离不同，镀层容易厚薄不均。我们研究了大半年，试了二十多种旋转轨迹，才找到最优的那一组参数。”

“控制部分呢？”吴国华问，“如何实时监测膜厚？”

周工走到旁边的控制台前，那是一个用旧课桌改造的操作台，上面密密麻麻布满了旋钮、开关、仪表，还有两个圆形的示波器屏幕。

“我们自己搭了一套光学干涉膜厚监测系统。”他指着其中一个示波器，屏幕上是一条起伏的曲线，“用一束氦氖激光打在基片上，测量反射光的干涉条纹变化。每镀一层，干涉条纹就会移动一个周期，我们计数周期数，就能反推出膜厚，精度能达到纳米级。”

钱兰凑近仔细观察：“这套系统，对环境的震动、温度波动敏感吗？”

“非常敏感。”周工苦笑，“所以我们给整个控制台做了隔震基础，下面铺了橡胶垫和弹簧。车间空调是二十四小时恒温恒湿，温度控制在±o摄氏度，湿度o±。就这，有时候外面过重型卡车，或者刮大风，数据还会跳。”

这套系统的原理是先进的，但实现方式还很土法，依赖手工调试和经验。

不过，这正是中国工业当下的真实写照，用有限的资源，做无限接近极限的事。

“周工，”吕辰问，“如果我们要镀的不是抛物面，而是平面的硅片，尺寸更大，比如直径o毫米，均匀性要求±oo微米，能做到吗？”

周工和胡教授对视一眼。

“理论上可以，”胡教授谨慎地说，“但需要重新设计夹具和旋转轨迹，优化蒸源的分布。最关键的是，监测系统要升级。现在的系统是单点测量，如果要保证整片硅片的均匀性，可能需要多点测量，甚至扫描测量。”

“而且真空腔体要扩大。”周工补充，“o毫米的硅片，加上夹具和旋转空间，现有的腔体装不下。要重新设计制造，这需要时间和经费。”

吕辰点点头，他理解这种制约，但更看到了可能性。

这个实验室已经掌握了微米级薄膜沉积的核心技术，缺的是系统化和工程化。

随后，在周工和胡教授的带领下，他们又参观了有色金属厂自行研制的亚微米级定位工作台，台面下有一套液压伺服系统，能实现x、y、z三轴运动，定位精度理论值o微米。但受限于电机与模拟控制，精度还差点意思，周工表示，如果用上红星所的脉冲电机和数字控制系统，性能至少能提升一个数量级。

最后，他们来到材料提纯车间，参观真空感应熔炼炉。

这是提炼高纯稀有金属的设备，主要产品是钽、铌、钨等用于电子管和特种合金。

纯度的粗金属，通过真空熔炼，挥掉低沸点杂质，再经过区域熔炼，进一步提纯，最高能做到的纯度。

纯度检测是取样做光谱分析，通过设备只能测到四个九，更高的纯度主要凭经验，看熔炼时金属液面的光泽，看凝固后的晶粒大小和颜色来分辨。

吕辰认为，如果能把兰州大学的放射性同位素示踪技术用在这里，就能直观地看到杂质在熔炼过程中是如何分布、如何被去除的，从而优化工艺参数，把经验变成科学。

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参观完毕，五人回到三楼的会议室。

窗外的天色已经暗了下来，远处的厂房亮起了灯光，像散布在暮色中的星辰。

胡教授重新泡了茶，五人围坐在会议桌旁，桌上摊开着图纸、报告、样品。

“周工，胡教授，”吕辰先开口，“想必我们的来意你们也清楚了。‘星河计划’的目标是展中国自主的集成电路产业。芯片制造需要高纯度的金属靶材，比如金、铝、钛，用于薄膜沉积。也需要高精度的镀膜工艺和监测技术，还需要特种材料的精密加工能力。”

周工点头：“我们清楚集成电路对材料纯度、工艺精度、环境控制的极端要求。不瞒你们说，从去年‘星河计划’立项的消息传出来，我们就在想，实验室的这些技术，能不能在芯片领域找到用武之地。”

胡教授接过话头：“那个卫星天线反射面板的镀金工艺，是我们当前能达到的微米级精度加工、测量、控制技术的集中体现。从去年开始，我们就刻意把控制目标定在±o微米，因为我们认为，这个精度水平，已经接近集成电路制造的需求。”

他顿了顿：“现在看来，技术原理上是相通的，但需要针对芯片制造的特点进行适配和优化。”

“这正是我们需要合作的领域。”吕辰诚恳地说，“红星所在自动化控制、传感器技术、抗干扰设计方面有些积累。我们可以提供脉冲电机和数字控制系统，升级你们的定位工作台。也可以协助优化镀膜机的监测系统，提高其稳定性和抗干扰能力。”

吴国华补充：“我们还在和兰州大学合作，研究放射性同位素示踪技术。如果用在你们的材料提纯工艺上，可以可视化杂质分布，优化熔炼参数，把纯度从五个九提升到六个九，甚至更高。”

钱兰翻开笔记本：“还有环境控制。芯片制造需要净车间，恒温恒湿，防震。你们在镀膜车间已经建立了基础的环境控制体系，我们可以把在轧钢厂自动化项目中积累的环境控制经验分享过来，共同制定更高标准。”

“这样，”周工说，“我们拟一个合作备忘录，明确几个方向。”

双方经过商量，最终定下高纯度金属靶材研制、精密镀膜工艺开、特种加工设备升级、环境控制标准制定、人才联合培养、前瞻技术预研六个方向的合作备忘录。

五人依次签名，一纸简单的备忘录，没有华丽的辞藻，没有繁复的格式，只有五个人对技术报国的郑重承诺。

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