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第393章 从破烂中建立秩序(第4页)

第一层是规范动作,比如拿硅片必须用真空吸笔,不能用手直接碰;放置硅片必须先对基准边。

这些是铁律,必须严格遵守。

第二层是参数范围,比如对焦距离应该在x±oo毫米范围内,曝光时间应该在y±秒范围内。

这些是科学,是可测量的。

第三层才是经验微调,在参数范围内,根据当天的温度、湿度、光刻胶批次等具体条件,做细微调整。

这需要经验,但经验是在前两层基础上积累的。

最终,宋颜教授拍板定调。

他看向双方:“周师傅,您能不能把您的手感,分解成规范动作和参数范围?比如您说的‘轻、慢、匀’,能不能量化?‘轻’是多大的扭矩?‘慢’是多长时间转一圈?”

老周缓缓点头:“我试试……把我那套手感写下来。虽然写出来可能就不对味了。”

谢凯道:“我们可以设计一套记录表,把每次微调的参数和结果都记下来。积累多了,也许能找到规律。”

一场冲突,转化成了建设性的合作。

建设进入第四周,模拟线已初具雏形。

准洁净区内,光刻机、简易涂胶台、显影槽、定影槽一字排开;扩散炉和cvd设备占据一个角落,用防火墙隔开;清洗台、蚀刻槽、干燥箱井然有序。

开放式教学区,墙上挂满了工艺流程图、缺陷图谱、安全规程;设备解剖展示台上,一台报废的真空泵被完全拆解,每个零件都贴上标签;错误案例展示区已经有了第一批“展品”。

几片碎裂的硅片、几块图形错位的光刻胶板。

化学安全实操区,通风橱嗡嗡作响,操作台上摆放着标准化的试剂瓶,每个瓶子上都有醒目的彩色标签和化学品安全数据表。

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控制室里,临时拼凑的监控面板上,显示着各区域的温湿度、电压、气体压力等参数。

虽然很多传感器还是简陋的指针式仪表,但毕竟有了“集中监控”的雏形。

但这远不是终点。

随着设备逐步联通试运行,更多的问题浮出水面。

硅片的流转路径需要优化。

最初设计的单向流,在实际操作中现,有些工序需要返工,但返工会破坏洁净度递进原则。

“那就设立‘返工隔离区’,”吕辰在图纸上画出一个区域,“需要返工的硅片,移到隔离区处理,处理完经过严格清洁后,才能重新进入主流程。隔离区相当于一个‘洁净度缓冲带’。”

设备维护和备件管理也是一片空白。

不同厂家的设备,需要的润滑油规格不同、密封件尺寸不同、电气元件型号不同。

吕辰建议:“必须建立设备档案。每台设备,都要有完整的档案,原厂信息、技术参数、维修历史、备件清单、专用工具清单。备件要分类编码,建立库存台账。”

人员培训和考核标准更是从零开始。

光刻操作员需要什么样的手稳程度?扩散炉值班员需要掌握哪些应急程序?化学试剂配制员需要经过哪些安全考核?

“编写岗位说明书和培训大纲,”谢凯领下了这个任务,“每个岗位,都要明确职责、技能要求、考核标准。培训要分理论、实操、应急演练三个部分。”

这些工作琐碎、繁重,没有惊天动地的技术突破,但却是模拟线能否真正“转起来”的关键。

吕辰等人几乎住在了车间。

他们的办公桌从一个角落搬到另一个角落,桌上永远堆满图纸、清单、会议纪要。

眼睛里布满血丝,但精神高度亢奋。

所有人都卯足了劲。

他们正在做的,不仅仅是建设一条模拟线,更是在为中国的集成电路工业,建立一套最初的工作体系、管理体系、培训体系。

每一个问题的解决,每一次标准的制定,都在填补这片空白。

窗外,秋意渐深。

车间里,灯火常明。

从破烂中建立秩序,这条路,他们才刚刚开始。

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