格栅地板铺设完毕,墙面和天花板开始安装彩钢板,空调管道接通,照明系统点亮……
十一月底,洁净区完成最终封闭。
那天下午,所有参与建设的工人、技术员、工程师,全都聚集在号厂房门口。
梁先生、宋颜教授、陈光远副厂长、吕辰站在最前面,丘岩书记和李怀德厂长也从指挥部赶了过来。
“开始吧。”梁先生说。
控制室里的技术员按下按钮。
厂房内,数百个风机过滤单元同时启动。
低沉的嗡鸣声透过墙壁传来,那是高效过滤器的风机在运转,将外部空气吸入、过滤、然后像瀑布一样垂直向下吹送。
十分钟后,厂房侧门打开,两名穿着全套防尘服、戴着口罩和护目镜的检测人员走了进去。
他们手里拿着尘埃粒子计数器,开始在不同位置采样。
所有人屏住呼吸。
时间一分一秒过去,厂房里安静得能听见自己的心跳。
二十分钟后,检测人员走出来,摘下口罩,脸上带着难以置信的表情。
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“梁先生……”领头的那人声音有些颤抖,“中心区域……尘埃计数……达到casso。”
“什么?”梁先生还没说话,宋颜教授就一把抓过检测报告。
白纸黑字,清清楚楚。
在洁净区中心位置,每立方英尺空气中,大于等于o微米的尘埃粒子数为o个。
cassoo的标准是oo个,他们做到了casso。
“再测一遍!”梁先生点头道。
检测人员又测了九个点,包括角落、门口、设备基座旁等容易积尘的位置。
结果依然令人震撼:最差的点位是个,最好的点位只有个。
平均值:cass。
“成了……”不知道谁先喃喃说了一句。
然后,掌声响了起来。
开始是零星的,接着连成一片,最后变成震耳欲聋的欢呼。
工人们扔掉了安全帽,技术员们抱在一起,老师傅们抹着眼睛。
宋颜教授站在原地,手里紧紧攥着检测报告,指节白。
他张了张嘴,想说什么,却不出声音。
最后只是重重地、一遍又一遍地点头。
吕辰觉得眼眶热。
他想起一年多前,在那个旧线材车间里,他们用塑料布和风扇搭建的第一个简陋洁净间。
那时候,能达到cass就谢天谢地了。
而现在,他们建成了cass的净环境。
这意味着,中国有了真正意义上能够制造集成电路的“无菌手术室”。
“同志们!”丘岩书记走到人群前,声音洪亮,“我宣布,o厂号厂房洁净区,正式通过验收!”
掌声再次雷动。
“但是!”丘岩话锋一转,“这只是一个开始。洁净区建成了,设备还没到位,工艺还没贯通,芯片还没造出来。我们不能松劲,不能骄傲!”
他环视全场,目光锐利:“从今天起,o厂的建设进入最后冲刺阶段。所有设备安装、系统联调、工艺调试,必须按小时计算进度!我们要在春节前,完成所有大型设备的就位和初步调平!明年三月,必须开始工艺贯通试验!明年八月,必须拿出第一片合格的芯片!”
“有没有信心?”
“有!”山呼海啸般的回应。
“好!”丘岩大手一挥,“各就各位,继续干活!”
人群散去,重新投入工作。
但每个人的脚步都更轻快,腰杆都挺得更直。
吕辰和宋颜教授并肩站着,看着工人们忙碌的身影。
“宋老师,”吕辰轻声说,“我们真的走到这一步了。”
“是啊。”宋颜教授长舒一口气,“但最难的还在后面。设备安装、工艺调试……每一步都是鬼门关。”
“我知道。”吕辰笑了笑,“但至少,我们有了闯关的资格。”
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