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第421章 电镜关卡（第1页）

年月日。

吕辰站在o厂动力中心的楼顶，手里夹着一只大前门，望着远处号厂房灰白色的外墙。

燕山吹来的北风，刮得人脸生疼。

他在这里站了快十分钟，烟卷在指间燃尽，烫了手指才回过神。

楼下，管廊工地的焊光还在闪烁，工人们裹着军大衣，在零下十三度的寒风里铺设最后一段特种气体管道。

焊接的青烟被风撕成碎片，转眼散尽。

一切都在按计划推进。

光刻机初步调平，长光所王工的团队在洁净区，像伺候瓷器一样伺候那台机器，每天进门前要过三道风淋，手套换三双。

涂胶显影机的第一组模块前天运抵，正在开箱验收。

哈工大包康健教授派来的三位工程师蹲在箱体旁，用水平仪一点一点找基准，忙了整整两天，还没敢往基座上落。

扩散炉的炉体已经到了北京站，押运员打来电话说，铁路调度出了点问题，要晚两天才能送进厂。

动力中心的王工程师正在和运输科扯皮，声音从电话听筒里穿透出来，整个调度室都听得见。

纯水系统的终端已经完成哈氏合金管件更换，第一批试运行的水样送去分析，电阻率，达标。

一切都在向前走。

但有一件事，静得像冻住了。

吕辰从楼顶下来，来到厂办指挥部办公室，拨通了真空所的电话。

总机转了快三分钟，才接到顾赟的分机。

“顾工，我是吕辰。”

电话那头沉默了两秒。

“吕工。”顾赟的声音很轻，像压着什么东西，“你……是为电镜的事？”

“样机怎么样了？”

又是一阵沉默。

吕辰听见电话那头有人走动，门关上的声音，然后是顾赟压低了的、几乎是从牙缝里挤出来的话：“样机做出来了。”

他顿了一下：“但是……效果差太远。”

“差多少？”

“设计指标是oo埃。我们测了三轮，最好的结果是oo埃。”顾赟的声音紧，“文教授、吴教授、林教授、李总工……已经一个月没怎么合眼了。昨天晚上吴教授在示波器前面坐着，坐了两个小时，什么都没说，后来我扶他回去休息，他血压都到一百八了。”

吕辰握电话听筒的手指节节泛白。

“我知道了。”

挂掉电话，吕辰闭上眼睛。

芯片制造，是看不见摸不着的工艺。

光刻要对准，薄膜要测厚，刻蚀要看形貌，掺杂要看深度，键合要看界面。

没有电镜，这一切全是盲人摸象。

你可以把光刻机调得再平，把纯水的电阻率提到，把洁净车间的尘埃粒子压到个位数，但只要你看不见那些微米级的沟槽、亚微米级的缺陷、纳米级的氧化层，你就永远不知道自己做对了没有，错在哪里。

o厂的工艺调试，需要的不是oo埃。

是oo埃以下。

甚至，未来的某一天，是o埃、o埃、o埃。

吕辰睁开眼睛，拨通了刘星海教授的电话。

下午三点，吕辰站在刘星海教授办公室门口，还没敲门，里面就传来声音：“进来。”

刘星海靠在椅子里，手里拿着那份年星河计划第三次会议纪要的复印件，翻到第三页。

那一页上，白纸黑字，写着：“电子光学仪器攻关协作组任务分工。”

北京大学：电子光学理论、电磁透镜设计、系统总体方案；

清华大学：机械结构设计、自动控制系统、总装集成与测试；

北京电子管厂：电子枪试制、高压电源、部分真空部件；

北京真空电子技术研究所：真空系统设计与集成、样品室、工艺经验支持；

长春光机所：精密光学机械加工；

红星工业研究所：控制电路、信号处理、项目协调与资源保障；

工业学院文昭南教授团队：信号检测理论与方案、跨单位技术衔接。”

刘星海把纪要放下，摘下老花镜，慢慢擦拭镜片。