黄副市长先前听液体在光刻中的应用时,还没什么反应。
听到了林博士的论文,兴趣才高涨起来。他要的就是解决办法。
王潇一边看论文,一边帮忙翻译解释,“当光刻的解析度提高时,景深会随之下降;而且下降的速度会比解析度增加的速度更快,迟早会碰到景深的瓶颈。”
但她这解释还不如不解释,黄副市长更加听不懂了,什么景深?什么解析度?要命哦!
王潇也没空跟他细说,只盖棺定论:“若无法通过缩短波长或提高na进一步优化,可考虑改变介质折射率,这就是具体的技术框架。”
黄副市长感觉更晕了,直截了当提问:“什么意思?介质是什么?”
“意思就是不做干式光刻机,做浸润式的。通过引入高折射率介质(n>1)替代空气从而突破‘1x1’的折射率瓶颈。”
这就是王潇选择破釜沉舟的原因。
武汉之行,她意识到三厂的光刻机传言只是个乌龙的时候,就下定了决心。
不追了,不追在日本光刻机的屁股后面赶了,没有意义。
以目前的大环境,她追到后面,就像夸父追日一样,除了活活累死自己之外还是活活累死自己。
她要做的是弯道超车,真正意义上的弯道超车。
目前光刻机领域,大佬们还在卷干式光刻机,这一条尚未走到顶点。
但是历史证明了,这条路距离到头也不远了。
千禧年过后,asl之所以能够打败日本光刻巨头东芝等龙头老大,就是因为它率先在浸润式光刻机上取得了突破。
然后就变成了日本巨头们反过来开始拼命地追,但是最终也没有真正追上。
可以说,日本半导体界在光刻机领域的日益式微,也是它整个行业渐渐日落西山的重要原因之一。
现在,王潇就想建立自己的asl,去生产浸润式光刻机。
对,这个想法确实非常疯狂。
因为她不是专业人士,哪怕她看了无数篇科普文章,她能够记住的信息也寥寥无几。
包括景深(dof)公式,你现在拿支笔一张白纸,让她写,她也写不出来。
甚至连浸润式光刻机开山立派大事件,用水配合193纳米,这个193的数据,她能记住,还是因为她看科普文章的时候,床伴刚好是193公分体育生。
呵呵,多么放浪形骸的人啊,现在这些能拿出来说吗?一句都不能提。
可就这样,她仍然要强行立项目上马。
因为以她浅薄的人生经验,这是唯一一个能够后来居上的机会。
哪怕以目前国内光刻机薄弱的基础水平,这个机会摆在眼前,他们也只有万分之一的可能性抓住,她也不能放弃。
因为一旦错过了这个机会,她也不知道该怎么办。