“文教授。”他的声音有些涩。
“这台机器,能开机吗?”文昭南教授点了点头。“小顾,开一下机。”
顾赟走到墙角,拉下电闸。
示波器的绿光闪了一下,波形开始跳动。
镜筒里传来轻微的电磁声,像夏夜池塘边第一声蛙鸣。
顾赟把一枚样品推进样品室,那是喷了金的氧化锌晶须,只有头丝百分之一那么细。
他调节了一下旋钮,屏幕上,绿光里跳动的全是噪声毛刺。
一秒、两秒、三秒。
在毛刺的间隙里,一个模糊的轮廓慢慢浮现出来。
像月亮表面的环形山。
边缘是虚的,中间有亮斑,亮斑周围还有一圈一圈的干涉纹。
那不是样品的结构,是噪声和信号的搏斗。
放大倍数,大约oo倍。
设计指标,ooo倍。
实际可用,oo倍。
极限分辨率,乐观估计oo埃。
而o厂光刻机需要的检测能力,是oo埃以下。
陈光远没有说话。
他盯着屏幕上那个模糊的轮廓,看了很久。
宋颜教授站在他身侧,也没有说话。
吕辰站在人群最后面,靠着门框。
他看见文昭南教授的手。
那只手扶着镜筒的调节旋钮,骨节粗大,皮肤上全是烫伤的旧疤。
但那只手很稳。
稳得像在扶着自己孩子的肩膀。
文昭南教授缓缓开口:“陈厂长,各位专家。”
他顿了顿,像是斟酌了很久。
“这台样机,是我们能交出来的、目前最好的答卷。”
他的声音很平,没有辩解,没有诉苦,也没有推卸责任。
“它还有很多问题。电子枪不稳定,透镜剩磁消不掉,探测器信噪比太低,扫描度调不了,真空度勉强及格,样品台会点头,图像会漂移。”
他慢慢放下扶着镜筒的手,抬起头,望着陈光远,望着宋颜,望着会诊组十六个人。
“但是,陈厂长,我想请你们相信,这条路,是走得通的。”
“我们已经看见了。虽然看得不清楚,虽然看得不稳定,虽然看一会儿就要歇一会儿。”
“但是,我们看见了。”
他的声音很轻,像在说一件微不足道的小事。
房间里安静了很久。
没有人说话。
示波器的风扇还在嗡嗡响。
屏幕上的环形山轮廓还在跳动,模糊,顽强,像一颗在风中摇曳却始终没有熄灭的火苗。
吕辰走到文昭南教授面前:“文教授,这不是失败品。这是曙光亮起之前,最暗的那几分钟。是星河计划为后来人撑起的、通向微观世界的第一个台阶。”
他顿了顿:“以后中国所有的芯片、所有的电镜、所有的纳米尺度工艺,都会记得今天,北京真空所这间旧实验室里,有台oo倍还抖动的样机。”
“它是先遣队的脚印。”
文昭南教授没有说话,吴教授、林教授、李总工、顾赟也没说话。
钱兰的眼眶都红了。
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